lintec低壓差質(zhì)量流量控制器MC-3000S

低壓差質(zhì)量流量控制器，最小工作壓差為800Pa。

使用示例

低蒸氣壓氣體溫度下的流量控制

MC-3000S是一款低壓質(zhì)量流量控制器，如果二次側(cè)通過其專有的低壓降結(jié)構(gòu)進(jìn)行抽真空，即使在室溫下也能對H2O等液體原料進(jìn)行流量控制。 推薦使用ITO濺射方法，該方法將少量水蒸氣發(fā)送到真空室。 此外，即使在室溫下，即使是低蒸氣壓的固體原料（如 XeF2），也可以進(jìn)行流量控制。

減壓罐船（SDS集裝箱）的流量控制

離子注入機(jī)中使用AsH3和PH3等特殊材料氣體，并且通常使用安全輸送源（SDS）容器來安全穩(wěn)定地供應(yīng)它們。 SDS填充的罐壓低于大氣壓，需要能夠在低壓差下控制流量的MFC。 MC-3000S 具有的低壓降結(jié)構(gòu)，可在低至 800 Pa（6 Torr）的壓差下實(shí)現(xiàn)流量控制。

lintec低壓差質(zhì)量流量控制器MC-3000S

規(guī)格

* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過選項(xiàng)進(jìn)行更改。