JEM-ARM200F NEOARM 原子級分辨率透射電子顯微鏡
NEOARM” 標(biāo)配了日本電子獨自開發(fā)的冷場發(fā)射電子槍（Cold-FEG）和全新的高階球差校正器（ASCOR）。無論是在200kV的高加速電壓還是在30kV的低加速電壓下，均能實現(xiàn)原子級分辨率的觀察與分析。同時還配備了自動像差校正系統(tǒng)，可以自動進行快速準(zhǔn)確的像差校正。新STEM成像技術(shù)（e-ABF法）可以更加簡便地觀察到含有輕元素樣品的高清晰（襯度）圖像。
原子級分辨率透射電子顯微鏡產(chǎn)品規(guī)格：
分辨率*1 | STEM HAADF 圖像: 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV) |
電子槍 | 標(biāo)配冷場電子槍 |
球差校正器 | STEM: NEO ASCOR HOAC*2、TEM: CETCOR with DSS*3 |
校正器自動合軸系統(tǒng) | 日本電子NEO JEOL COSMO™ 自動合軸系統(tǒng)、Ad-hock合軸（SIAM） |
加速電壓 | 30 ～ 200 kV（ 標(biāo)配30、80、200 kV；選配60、120 kV） |
無磁場模式 | 標(biāo)配洛倫茲模式、放大倍數(shù) ( ×50 ～ 80 k熒光屏為參考面) |
樣品移動系統(tǒng) | X,Y,Z 軸高精度機械驅(qū)動、標(biāo)配超高精度壓電陶瓷驅(qū)動 |
操作類型 | RDS*4 操作模式*4 |
*1 裝配UHR(超高分辨率)極靴與STEM/TEM球差校正器
*2 HOAC(高階球差校正器)
*3 DSS(DeScan系統(tǒng))
*4 RDS(安裝室分隔式)
主要特點：
◇ 球差校正器ASCOR（Advanced STEM Corrector）
“NEOARM”配備的新型球差校正器ASCOR能夠校正高階像差（即6重像散，目前阻礙透射電鏡分辨率進一步提高的大障礙。），ASCOR和Cold-FEG的完美組合實現(xiàn)了從高加速電壓到低加速電壓下的高分辨率。
◇ 自動像差校正軟件JEOL COSMO™（Corrector System Module）
JEOL COSMO™采用了全新像差校正算法(SRAM：Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix)，校正像差不需要交換標(biāo)準(zhǔn)樣品也可以快速精確地校正至高階像差。與采用傳統(tǒng)校正算法的系統(tǒng)相比，JEOL CMSMO™能夠高速處理數(shù)據(jù)，并且使操作進一步自動化。因此，客戶在工作流程中可以簡便高效地進行高分辨率觀察及各種元素分析。
◇ 新ABF（Annular Bright Field）檢測器系統(tǒng)
ABF檢測器作為高分辨觀察輕元素的有效手段已被廣泛使用。“NEOARM”支持能增強輕元素襯度的新ABF成像技術(shù)（e-ABF：enhanced ABF），實現(xiàn)了對含有輕元素樣品的原子級結(jié)構(gòu)的觀察。
◇ Perfect sight檢測器
STEM系統(tǒng)標(biāo)配的Perfect sight檢測器作為混合檢測器，采用了由不同材料制成的閃爍器。該檢測器具有的寬電壓適應(yīng)性，不依賴于加速電壓始終都可以獲得高襯度的STEM圖像，并可用于定量STEM的分析研究工作。
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