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更新時(shí)間：2021-06-29 16:33:50瀏覽次數(shù)：1009次
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EVG 620NT是一款通用性和可靠性*的光刻機(jī)，提供*的掩膜對(duì)準(zhǔn)技術(shù)?？蛇x擇半自動(dòng)或全自動(dòng)配置，滿足大批量生產(chǎn)和Fab標(biāo)準(zhǔn)。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持6英寸（150mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理，可快速轉(zhuǎn)換多尺寸晶圓
·全自動(dòng)頂部及底部對(duì)準(zhǔn)：
頂部對(duì)準(zhǔn)精度≤±0.5μm
底部對(duì)準(zhǔn)精度≤±1μm
紅外對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm（取決于襯底材料）
·支持汞燈或的UV-LED光源
·支持半自動(dòng)原位升級(jí)為全自動(dòng)
·可選配功能：
鍵合對(duì)準(zhǔn)
紅外對(duì)準(zhǔn)
納米壓印光刻（NIL）
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