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當前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>單面/雙面光刻系統(tǒng)>> EVG IQ Aligner NT光刻系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG IQ Aligner NT是IQ Aligner光刻工藝平臺的升級款，在對準精度、處理速度上都有較大提升，適用于大型生產(chǎn)線。
主要特點及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理。
·全自動頂部及底部對準：
頂部對準精度≤±0.25μm
底部對準精度≤±0.5μm
·支持Casettes, SMIF或FOUP上料
·可選配功能：
紅外對準（透射或反射）
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