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北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG Hercules光刻系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

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更新時間：2024-04-27 07:21:43瀏覽次數(shù)：111次

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EVG Hercules是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、光刻等工藝的全自動大型工藝平臺，具有功能多、產(chǎn)量高的特點。

產(chǎn)品簡介：

EVG Hercules是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、光刻等工藝的全自動大型工藝平臺，具有功能多、產(chǎn)量高的特點。

 

主要特點及參數(shù)：

·支持12英寸（300mm）晶圓

·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理

·支持Casettes-to-Casettes全自動運行

·可擴(kuò)展8個濕法模塊或24個烘烤、冷卻、真空模塊

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