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更新時(shí)間：2024-04-27 07:21:43瀏覽次數(shù)：170次
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EVG Hercules是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、光刻等工藝的全自動(dòng)大型工藝平臺(tái)，具有功能多、產(chǎn)量高的特點(diǎn)。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理
·支持Casettes-to-Casettes全自動(dòng)運(yùn)行
·可擴(kuò)展8個(gè)濕法模塊或24個(gè)烘烤、冷卻、真空模塊
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