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北京亞科晨旭科技有限公司等）

CentroTherm VERTICOO200立式爐

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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更新時(shí)間：2024-04-27 07:04:31瀏覽次數(shù)：146次

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CentroTherm VERTICOO200立式爐
【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
 
centrotherm c.VERTICOO 200為高批量生產(chǎn)和產(chǎn)能而設(shè)計(jì)，并具有高度的靈活性，適于所有的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓與低壓化學(xué)氣相沉積工藝。優(yōu)化的單管雙舟傳送系統(tǒng)，使搬運(yùn)時(shí)間縮至最短，同時(shí)降低擁有成本與維修成本。
 
【適用工藝】
 
·退火
·氧化
·擴(kuò)散
·LPCVD
 
【主要優(yōu)點(diǎn)】
 
·每批加工量多達(dá)150片晶圓
·自對(duì)準(zhǔn)
·雙舟輸送
·水冷加熱匣
·占地面積小
·可以并排安裝
 

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