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亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG 320晶圓清洗系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

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廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2024-04-27 07:05:42瀏覽次數(shù)：98次

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EVG 320是一款自動(dòng)單晶圓清洗設(shè)備，采用兆聲清洗在鍵合前對(duì)晶圓表面做清洗，提高鍵合質(zhì)量。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EVG 320是一款自動(dòng)單晶圓清洗設(shè)備，采用兆聲清洗在鍵合前對(duì)晶圓表面做清洗，提高鍵合質(zhì)量。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·可適用于12寸（300mm）晶圓

·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自動(dòng)運(yùn)行

·采用1MHz兆聲清洗頭，有效去除＞1μm的顆粒

·最多可以配置4個(gè)清洗腔室

·機(jī)器人處理確保預(yù)對(duì)準(zhǔn)精度

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