產品簡介：
EVG 320是一款自動單晶圓清洗設備，采用兆聲清洗在鍵合前對晶圓表面做清洗，提高鍵合質量。
主要特點及參數(shù)：
·可適用于12寸（300mm）晶圓
·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自動運行
·采用1MHz兆聲清洗頭，有效去除＞1μm的顆粒
·最多可以配置4個清洗腔室
·機器人處理確保預對準精度
暫無信息 |
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| 參 考 價: | 面議 |
產品簡介：
EVG 320是一款自動單晶圓清洗設備，采用兆聲清洗在鍵合前對晶圓表面做清洗，提高鍵合質量。
主要特點及參數(shù)：
·可適用于12寸（300mm）晶圓
·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自動運行
·采用1MHz兆聲清洗頭，有效去除＞1μm的顆粒
·最多可以配置4個清洗腔室
·機器人處理確保預對準精度
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