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亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG 101涂膠/噴膠/勻膠系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
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更新時(shí)間：2024-04-27 07:12:34瀏覽次數(shù)：143次

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EVG 101是一款適合于研發(fā)的單腔晶圓涂膠顯影設(shè)備，可用于噴膠、旋涂和顯影，可在三維結(jié)構(gòu)晶圓上完成光刻膠或聚合物的涂覆，并保持高均勻性。

產(chǎn)品簡介：

EVG 101是一款適合于研發(fā)的單腔晶圓涂膠顯影設(shè)備，可用于噴膠、旋涂和顯影，可在三維結(jié)構(gòu)晶圓上完成光刻膠或聚合物的涂覆，并保持高均勻性。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·可適用于12寸（300mm）晶圓

·手動(dòng)裝片，自動(dòng)噴涂/旋涂，自動(dòng)清洗腔室內(nèi)殘膠

·適用光刻膠范圍廣泛，粘度可達(dá)52000cp

·基片轉(zhuǎn)速：10000r/min

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