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北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

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X射線半導(dǎo)體計量系統(tǒng)

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更新時間:2021-06-29 19:05:02瀏覽次數(shù):264次

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X射線半導(dǎo)體計量系統(tǒng)

公司介紹

德國Sirius公司成立于2015年,是一家材料科學和半導(dǎo)體行業(yè)X射線分析解決方案的提供商。作為一家獨立的儀器集成商,Sirius不僅向同步輻射用戶提供薄膜,表面和原位表征的完整實驗室解決方案,還提供X射線半導(dǎo)體計量解決方案以及X射線衍射分析服務(wù)。

產(chǎn)品介紹

X射線半導(dǎo)體計量分析系統(tǒng)

專門用于研發(fā)實驗室或中試線的X射線半導(dǎo)體計量學實驗室設(shè)備,特別是化合物半導(dǎo)體,MEMS,高功率器件和后端工藝。

-通過XRR, HRXRD和RSM, GID,晶圓Mapping進行薄膜計量。

-樣品臺可支持大至200mm的晶圓或200mm x 200mm的剛性/柔性樣品。

-自動化測量和分析。

-的專有分析和測量軟件。

-設(shè)備尺寸:1.2m x 1.3m x 2.1m



1. X射線反射率

X射線反射率測量是基于從薄膜表面散射的X射線與多層堆疊子層之間不同界面的相長干涉測量來實現(xiàn)的。使用專有的Sirius-XRR軟件分析程序來測量和擬合XRR曲線,可以確定:

  • 薄膜和多層膜的層厚

  • 層間和界面粗糙度

  • 表面密度梯度和層密度

  • 界面結(jié)構(gòu)

  • 整個晶圓的層/膜均勻性


技術(shù)指標

  • 最小厚度: ~1.5nm

  • 厚度: ~300nm

  • 厚度分辨率:約為測量厚度的1%

  • 橫向分辨率(最小光斑尺寸~1cm)

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案例:硅襯底上的Al2O3/InGaAs薄膜


2. 高分辨XRD

高分辨率X射線衍射(HRXRD)常用于外延薄膜和多層膜的表征和工藝研發(fā),如:SiGe,SOI,Si基外延GaN,光子學材料,通常的III / V族半導(dǎo)體,外延復(fù)合氧化物等。對于這些材料的表征,會使用不同的HRXRD技術(shù):

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案例:外延層的搖擺曲線

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

案例: GaN多層結(jié)構(gòu)的θ/2θ掃描


3. 倒易空間掃描

二維倒易空間掃描,主要用于通過測量和分析互易空間的面積來快速確定三維結(jié)構(gòu)參數(shù)。

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4. 面內(nèi)掠入射測量

面內(nèi)掠入射衍射是一種用于快速確定超薄外延膜的面內(nèi)晶格參數(shù),相對于基板的層結(jié)構(gòu)配準,以及橫向結(jié)晶膜質(zhì)量的技術(shù)。

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5. 掠入射粉末衍射和薄多晶層的物相鑒定

掠射入射下的X射線衍射可降低入射X射線的穿透深度,因此可排除部分來自基板的信號,以實現(xiàn)納米薄膜測量。


6. 半導(dǎo)體晶圓掃描

可在沒有潔凈室的研發(fā)環(huán)境中,實現(xiàn)直徑達200mm的晶圓均勻性(成分,厚度,應(yīng)變)掃描。



proXAS桌面近邊X射線吸收精細結(jié)構(gòu)譜儀

proXAS桌面近邊X射線吸收精細結(jié)構(gòu)譜儀

X射線半導(dǎo)體計量系統(tǒng)

X射線半導(dǎo)體計量系統(tǒng)

同步輻射用戶X射線解決方案

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