當(dāng)前位置：鄭州諾泰科技有限公司>>化學(xué)氣相沉積/PECVD系統(tǒng)>>立式PECVD設(shè)備

立式PECVD設(shè)備

返回列表頁

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-08-28 09:57:51瀏覽次數(shù)：442次

聯(lián)系我時(shí)，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  化學(xué)氣相沉積/PECVD系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

鄭州諾泰科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：6條

所在地區(qū)：

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡介

立式PECVD系統(tǒng)，由真空立式管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、石英真空室、真空測量系統(tǒng)組成。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜，此立式PECVD設(shè)備由真空立式管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、石英真空室、真空測量系統(tǒng)組成。

PECVD系統(tǒng)配置：

1.1200度開啟式滑動(dòng)單溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)

產(chǎn)品特性：

此立式PECVD設(shè)備溫度范圍寬；濺射區(qū)域長；整管可調(diào)；精致小巧，性價(jià)比高，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫，是實(shí)驗(yàn)室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇。立式PECVD系統(tǒng)以含鉬電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。

其他推薦產(chǎn)品更多>>