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材料物理&材料制備系列DH-500ZZS型 箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機

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更新時間：2023-07-25 18:15:33瀏覽次數(shù)：203次

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產(chǎn)品簡介

該鍍膜機為前開門箱式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，該鍍膜機功能強、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡便

詳細介紹

    該鍍膜機為前開門箱式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，該鍍膜機功能強、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡便。適用于制備導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜，高性能薄膜研究及新材料科學(xué)研究工作。

　　鍍膜機的真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造，工藝規(guī)范、精致，具有高真空度、高清潔度，可以保證材料的成膜純度。

　　采用大抽速的變頻控制分子泵+直聯(lián)機械泵機組，具有抽速快、無油、操作方便快捷、易于維護的特點。配備270°E型電子束蒸發(fā)源，電源穩(wěn)定，控制精度高，帶有高壓自動滅弧復(fù)位裝置，操做簡便，性能可靠。

　　適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實驗及教師科學(xué)研究。

◆ 鍍膜室體積：500mmX500mmX600mm；

◆ 極限真空度：6.7X10-5 Pa，恢復(fù)真空：從大氣抽至6.7X0-4 Pa （40分鐘）；

◆ 真空抽氣系統(tǒng)：機械泵與分子泵組成；

◆ 真空測量系統(tǒng)：數(shù)顯復(fù)合真空計；

◆ 蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源：E型電子槍，功率0～6KW可調(diào)；電阻蒸發(fā)源：功率3kW/10V兩組；

◆ 工件烘烤溫度：室溫～350℃可控可調(diào)（PID控溫）；

◆ 選配件：光學(xué)膜厚測量儀、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機組等；

◆ 供電電源：三相AC380V，50Hz。

◆ 特殊規(guī)格可定制。

關(guān)鍵詞：鍍膜機 真空計 測厚儀
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