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更新時(shí)間：2022-12-17 18:50:55瀏覽次數(shù)：204次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線應(yīng)用方向：科研與教學(xué)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：耐氟基或更弱腐蝕性氣體產(chǎn)品配置：★樣片數(shù)量及尺寸：1片Ф6英寸★刻蝕材料：包括并不限于單晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、聚合物等★刻蝕腔體：高真空系統(tǒng)★刻蝕不均勻性：±3%-±6%★刻蝕速率：0
應(yīng)用方向：科研與教學(xué)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：耐氟基或更弱腐蝕性氣體
產(chǎn)品配置：
★樣片數(shù)量及尺寸：1片Ф6英寸
★刻蝕材料：包括并不限于單晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、聚合物等
★刻蝕腔體：高真空系統(tǒng)
★刻蝕不均勻性：±3%-±6%
★刻蝕速率：0.1-4μm/min（視具體材料與工藝）
★工作臺(tái)：可升降，包含水冷
★電源配置：上電極射頻，下電極偏壓，包含自動(dòng)匹配
★氣路數(shù)量與種類：6路耐氟基腐蝕氣路 或 用戶選配
★深硅刻蝕系統(tǒng)：可選配
★He冷背吹系統(tǒng)：可選配
★終點(diǎn)檢測(cè)控制：可選配質(zhì)譜儀
★操作模式：全自動(dòng)+半自動(dòng)控制
類似產(chǎn)品：帶單片送樣室（ICP-5100）；帶單片送樣室耐氯氣腐蝕（ICP-5101）
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