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GVC-2000磁控離子濺射儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2022-11-02 16:13:53瀏覽次數(shù):861次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

GVC-2000磁控離子濺射儀 全自動(dòng)控制,無(wú)需調(diào)整針閥鍍膜顆粒小,無(wú)熱損傷靶材更換非常簡(jiǎn)單特殊密封結(jié)構(gòu),玻璃不易損壞內(nèi)置操作向?qū)?,無(wú)需培訓(xùn)即可熟練操作

詳細(xì)介紹


主要參數(shù)

外形尺寸

424(L)×345(D)×420(H)

輸入電源

220V/800W

可用靶材

所有金屬、部分化合物

靶材尺寸

φ57mm

真空室

高硅硼玻璃 φ200×130mm

工作介質(zhì)

高純氬氣(≥4N)

低真空泵

旋片泵

抽速

1.1L/s

高真空泵

進(jìn)口渦輪分子泵

抽速

90L/s

極限真空

≤5×10-3Pa

工作真空

0.1-3Pa

濺射電流

5-200mA 可調(diào)

濺射時(shí)間

1-999s 可調(diào)

樣品臺(tái)

φ125mm

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

4-20rpm 可調(diào)

顯示屏

7 英寸  TFT 彩色觸摸屏

抽氣節(jié)拍

≤5 分鐘

進(jìn)氣

全自動(dòng)

放氣

全自動(dòng)

預(yù)濺射

具備預(yù)濺射擋板,全自動(dòng)控制

保護(hù)功能

過(guò)流保護(hù)、真空保護(hù)、分子泵過(guò)熱保護(hù)等

膜厚儀

(選配)

可實(shí)時(shí)顯示鍍膜厚度,并通過(guò)設(shè)定來(lái)控制鍍膜過(guò)程,測(cè)量精度

0.1nm,單次鍍膜設(shè)定范圍 1-999nm,測(cè)量范圍 10μm

其它

可根據(jù)用戶需要,提供定制化產(chǎn)品


若需了解更多資料,請(qǐng)致電聯(lián)系!




關(guān)鍵詞:真空泵
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