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Chotest SJ6000激光干涉儀

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Chotest SJ6000激光干涉儀

詳細(xì)介紹

技術(shù)指標(biāo)

系統(tǒng)性能
² 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
² 工作溫度范圍：0~38℃
² 環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%
² 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測(cè)量
² 測(cè)量距離：0-40m
² 測(cè)量精度：0.5ppm (0-38℃)
² 測(cè)量分辨率：1nm
² 測(cè)量速度：3m/sec
角度測(cè)量
² 軸向量程：0-15m
² 測(cè)量范圍：±10°
² 測(cè)量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.1″
平面度測(cè)量
² 軸向量程：0-15 m
² 測(cè)量范圍：±1.5 mm
² 測(cè)量精度：±（0.6%R+0.02 M²）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m）
² 基板尺寸：50mm、100mm、150mm
測(cè)量分辨率：0.1μm
直線度測(cè)量
² 軸向量程：0.1-4.0 m
² 測(cè)量范圍：±3.5 mm
² 測(cè)量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M²）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.01μm
垂直度測(cè)量
² 軸向量程：0.1-3.0 m
測(cè)量范圍：±3.5mm
² 測(cè)量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量
² 角度測(cè)量范圍：0-360°
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1″
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2″