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光學(xué)三維表面輪廓測(cè)量?jī)x

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參考價(jià): ￥ 960000

訂貨量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)SuperViewW1

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地深圳市

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聯(lián)系方式：精密儀器儀查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-03-14 16:26:41瀏覽次數(shù)：592次

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  輪廓測(cè)量?jī)x

光學(xué)3D表面輪廓儀

粗糙度輪廓一體測(cè)量?jī)x

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深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：100條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：精密儀器儀（中圖儀器）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)三維表面輪廓測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

詳細(xì)介紹

針對(duì)芯片封裝測(cè)試流程的測(cè)量需求，SuperViewW1的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。而SuperViewW1-Pro 型號(hào)增大了測(cè)量范圍，可覆蓋8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤，穩(wěn)定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì)，隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。

部分參數(shù)

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm

表面形貌重復(fù)性：0.1nm

臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性：0.1% 1σ；準(zhǔn)確度：0.75%

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

1、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量；

2、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測(cè)量；

4、用于機(jī)械部件的計(jì)量；

5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)三維表面輪廓測(cè)量?jī)x雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)，既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車間也能正常工作。白光干涉儀是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一。在同等放大倍率下，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達(dá)不到檢測(cè)的精度要求。

關(guān)鍵詞：芯片電池顯微鏡輪廓測(cè)量?jī)x 共聚焦顯微鏡