光學(xué)輪廓測量儀采用的非接觸式測量方法具有測量精度高、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全以及使用方便等優(yōu)點(diǎn),加上其的光源模式,保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。
能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,以非接觸式測量樣品表面形貌,主要用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,廣泛應(yīng)用于材料,光學(xué),半導(dǎo)體,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)大幅減小了環(huán)境振動的影響,還可以降低高精度量測時(shí)的噪聲,提高超光滑表面的測試精度。
2.一體化操作的測量分析軟件自動對焦樣品表面,自動智能配置測試參數(shù),使原來麻煩的“找條紋”,“選擇測試參數(shù)”過程,在一分鐘之內(nèi),自動完成。
3.雙重防撞保護(hù)功能,除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),能保護(hù)樣品和設(shè)備的安全。
SuperViewW系列
三維光學(xué)輪廓測量儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)??梢杂糜跍y試各類表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至99%反射率的各類高反表面。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測樣品反射率:0.05%-99%
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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SuperViewW系列
三維光學(xué)輪廓測量儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型,其的3D重建算法,自動濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達(dá)亞納米級別,讓3D測量變得簡單。
深圳市中圖儀器股份有限公司是,致力于精密測量、計(jì)量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。
自成立以來一直以“致力于精密測量、計(jì)量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售”為使命,在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究十幾年,如今在微納米運(yùn)動設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢,具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。