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深圳市中圖儀器股份有限公司
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更新時間:2023-05-05 16:07:58瀏覽次數(shù):316次
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SJ6000激光干涉測量儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進(jìn)行動態(tài)高速測量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義,且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),是高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。SJ6000激光干涉測量儀配備的EC20環(huán)境補(bǔ)償單元,由環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)(內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器)、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成,可實現(xiàn)對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。
以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
導(dǎo)軌直線度檢測
對機(jī)床精度再校準(zhǔn)
SJ6000激光干涉測量儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進(jìn)行動態(tài)高速測量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。
(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
(6)支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
(1)友好的人機(jī)界面;
(2)豐富的應(yīng)用功能模塊;
(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
(4)簡潔化的記錄管理;
(5)支持中文、英文和俄文界面;
(6)支持企業(yè)專屬模板定制。
主機(jī) | |
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預(yù)熱時間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
環(huán)境補(bǔ)償單元 | |
空氣溫度傳感器 | ±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃ |
材料溫度傳感器 | ±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃ |
空氣濕度傳感器 | ±6%RH (0~95)%RH |
大氣壓力傳感器 | ±0.1kPa (65~115)kPa |
線性測量 | |
測量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
測量分辨力 | 1nm |
測量速度 | 4m/s |
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