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QL-600激光干涉儀

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產(chǎn)品簡介

激光干涉儀以激光波長為已知長度，采用激光干涉原理來測量位移長度，是至今的高精度測量儀器，其測量結(jié)果可溯源到長度自然基準(zhǔn)，在精密測量和制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品概述

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QL--600激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，技術(shù)源于大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室數(shù)十年研發(fā)成果，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，全產(chǎn)業(yè)鏈自主生產(chǎn)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國外同類產(chǎn)品，擁有較高的測量精度和性價(jià)比，其穩(wěn)定的重復(fù)性和高精度得到業(yè)界，受到用戶的。

QL--600激光干涉儀系統(tǒng)主要設(shè)計(jì)用于機(jī)床及三坐標(biāo)測量機(jī)位置精度和幾何精度的評(píng)價(jià)與標(biāo)定，并被設(shè)計(jì)得便攜、易于調(diào)整和方便使用。該系統(tǒng)由光學(xué)組件和測量設(shè)備組成，并可配置成各種不同的應(yīng)用組合。QL--600激光干涉儀配置不同光學(xué)鏡組可測量線性定位精度、角度、直線度、平行度、垂直度、平面度。

二、結(jié)構(gòu)原理

激光干涉儀是一種以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉原理測量位移的通用長度測量儀器。激光干涉儀一般使用氦氖激光，其光為紅色，真空波長為632.99nm。

當(dāng)兩束振動(dòng)方向相同、頻率相同，位相相同或位相差恒定的光在空間任一點(diǎn)相遇時(shí)其位相差也是恒定的，因而在空間某些地方的振動(dòng)始終加強(qiáng)，而在另一些地方的振動(dòng)始終減弱或抵消，這種現(xiàn)象稱為光的干涉。

微信截圖_20200617142704.png

QL--600激光干涉儀的激光器輸出含兩種正交模式的雙縱模激光，這兩種模式的光強(qiáng)用光敏二極管測量，通過加熱器控制激光管長度來實(shí)現(xiàn)穩(wěn)頻。

微信圖片_20200617142741.png

在線性測量中，角錐反射鏡將兩束光返回到分光鏡中，光束疊加并彼此干涉。如果測量光路長度改變（角錐反射鏡C移動(dòng)），干涉光束的相對(duì)相位將改變，由此產(chǎn)生的相長干涉和相消干涉的循環(huán)將導(dǎo)致疊加光束強(qiáng)度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動(dòng)316nm（因?yàn)榇艘苿?dòng)會(huì)造成633nm的光路長度變化），就會(huì)出現(xiàn)一個(gè)光強(qiáng)變化循環(huán)（明－暗－明），通過計(jì)算這些循環(huán)來測量移動(dòng)并進(jìn)行進(jìn)行相位細(xì)分。

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三、儀器特點(diǎn)

1、的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)

QL--600激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，技術(shù)源于大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室數(shù)十年研發(fā)成果，擁有的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。生產(chǎn)廠家是極少數(shù)擁有激光器和激光干涉儀全套產(chǎn)線的高科技企業(yè)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國外同類產(chǎn)品，其的性能和的穩(wěn)定性受到。

2、高精度高穩(wěn)定性

QL--600激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器，其真空波長為632.99nm，且長期波長穩(wěn)

定性優(yōu)于±0.04ppm。線性測量距離大于40m，測量分辨力達(dá)到1nm，具有的測量精度。

3、全自動(dòng)智能測量

在檢定線性定位精度時(shí)，操作者只需設(shè)定好測量參數(shù)，在軟件界面點(diǎn)擊【開始檢定】按鈕，系統(tǒng)即可完成定位精度的全自動(dòng)測量，極大減輕了操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)也避免人工操作引入的誤差

.4、自動(dòng)計(jì)算、自動(dòng)處理數(shù)據(jù)、自動(dòng)生成報(bào)表

檢定過程中自動(dòng)處理數(shù)據(jù)、自動(dòng)生成報(bào)表，海量檢定記錄存儲(chǔ)，隨時(shí)查詢打印。

四、技術(shù)參數(shù)

序號(hào)	貨物名稱	主要規(guī)格
一、	QL--600激光干涉儀
1.1	QL--600激光頭	激光功率：＞0.5mW 波長長期穩(wěn)定度：±0.04ppm 分辨率：1nm 測量速度：4m/s 預(yù)熱時(shí)間：≤5min 動(dòng)態(tài)采集頻率：50kHz 工作溫度范圍：0-40℃ 存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃ 環(huán)境濕度：(0~95)%RH
1.2	環(huán)境測量及波長補(bǔ)償單元	相對(duì)濕度：工作范圍 0-95%RH 測量精度 ±5%RH 空氣壓力：工作范圍 65-115kPa 測量精度 ±100Pa 空氣溫度：工作范圍 0℃-40℃ 測量精度 ±0.1℃ 材料溫度：工作范圍 0℃-55℃ 測量精度 ±0.1℃ 分辨力 0.01℃
1.3	線性位移測量單元	測量范圍：≥40m 分辨率：1nm 測量精度：±0.5ppm (0~40)℃ 測量速度：4m/s
二、	直線度測量單元（0.1-4m）	直線度測量范圍：±3mm 直線度測量精度：±0.5%示值±0.5±0.15L2μm （L為測量距離,單位米）分辨率： 0.01μm

五、檢定依據(jù)

QL--600激光干涉儀滿足JBT 5610-2006 《激光干涉儀》，JJG 353-2006 《633nm穩(wěn)頻激光器檢定規(guī)程》，JJG 739-2005《激光干涉儀檢定規(guī)程》等國家標(biāo)準(zhǔn)。

六、儀器校準(zhǔn)

QL--600激光干涉儀根據(jù)JJG 739-2005《激光干涉儀檢定規(guī)程》進(jìn)行校準(zhǔn)。

七、產(chǎn)品配置清單

編號(hào)	產(chǎn)品描述	數(shù)量	備注
一、QL--600激光干涉儀
1激光頭及安裝附件
1-1.1	QL--600激光頭	1
1-1.2	電源適配器及線纜	1套	電源適配器、三芯插頭
1-1.3	USB連接線	1
1-1.4	三腳架	1
1-1.5	云臺(tái)	1
1-1.6	安全攜帶箱	1
1-1.7	三腳架攜帶包	1
2 環(huán)境補(bǔ)償組件
1-2.1	LC2000傳感器適配卡	1
1-2.2	空氣傳感器	1
1-2.3	材料傳感器	3	注：標(biāo)配一個(gè)
1-2.4	傳感器線纜	1套	USB線1根、傳感器連接線4根
3 線性位移測量組件
1-3.1	線性反射鏡	2
1-3.2	干涉鏡	1
1-3.3	調(diào)光靶標(biāo)	1
4 光學(xué)鏡安裝組件
1-4.1	鏡架（配螺紋桿）	2
1-4.2	支桿	3	M8
1-4.3	磁力表座	2
1-4.4	固定底板	2
1-4.5	氣泡水平儀	1
1-4.6	磁力表座適配器	1	M8
二、直線度測量組件
2-1	直線度干涉鏡（0.1-4m）	1
2-2	直線度反射鏡（0.1-4m）	1
三、電腦
3-1	筆記本電腦/臺(tái)式電腦	1
三、軟件
3-1	測量分析軟件	1	U盤
四、使用手冊
4-1	QL-600激光干涉儀使用手冊	1	U盤
4-2	QL-600激光干涉儀軟件使用手冊	1	U盤
五、檢測報(bào)告
5-1	中國出具檢定證書	1
六、配置清單
6-1	QL-600激光干涉儀配置清單	1