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WM系列規(guī)格
無圖案300mm晶圓表面檢測系統(tǒng)
WM-10R是300mm晶圓的標(biāo)準(zhǔn)型號
是48nm的高靈敏度檢測系統(tǒng)。
WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.
200mm以下無圖案晶圓表面檢測系統(tǒng)
WM-7系列是200毫米晶圓尺寸以下最的合理的高性能型號。
WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.
1. 獨的創(chuàng)高靈敏度光學(xué)系統(tǒng)
WM-10R 有 2 軸粒子入射角。
WM 系列有 2 個寬數(shù)值孔徑鏡頭，用于高靈敏度檢測。
2. 高分辨率 XY 位置螺旋掃描
WM系列是帶轉(zhuǎn)速控制的螺旋掃描方式。
XY-數(shù)據(jù)發(fā)送到 EB 審查設(shè)備，然后可以通過輕松對齊進(jìn)行審查。
