聯(lián)系電話
深圳九州工業(yè)品有限公司
中級會員·3年
日本takano 晶圓視覺檢測設備Vi系列
我們高速、高精度地檢查晶圓布線圖案、裂紋、異物污染等產(chǎn)品外觀。
●產(chǎn)品信息
Vi系列規(guī)格
Vi-4207R、C Vi-4307M，C Vi-5301M
晶圓尺寸 ～200毫米 ～300毫米 ～300毫米
處理 機器人 機器人 機器人
裝載機 打開盒式磁帶 開放式盒式磁帶、FOUP、FOSB
缺陷尺寸(μm) 1.2/ 2.4/5.0（物鏡10x/5x/2.5x）
尺寸 W2280xD1140xH2060 W2280xD1140xH2060 寬2600x深1440x高1790
重量 1650公斤 1700公斤 2800公斤
應用 CMOS圖像傳感器、功率器件、RF濾波器、MEMS、玻璃、TAIKO晶圓
1. 缺陷示例
2、按區(qū)域（層）分類精細檢測
●區(qū)域分類根據(jù)器件圖案的特征實現(xiàn)多種檢測靈敏度和容差。
●每個區(qū)域都可以有檢查參數(shù)。
3.通過各種照明和彩色圖像來精細化圖像
●灰度檢測無法檢測到的缺陷可以通過彩色檢測來檢測。
●各種光的組合使看不見的缺陷變得可見。
