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一、SC-3100
●通過(guò)連接PC創(chuàng)建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側(cè)面(斜角部分)收集(采樣)微量金屬污染物。
●設(shè)備引入簡(jiǎn)單，不需要太多外部資源，不占用太多空間。
●由于工作是機(jī)械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。
●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架，因此與SC-2000相比，可以減少工人造成的污染。
二、SC-8100
●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能，并且可以對(duì)硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導(dǎo)致表面變得粗糙的晶圓進(jìn)行采樣。
●放寬了對(duì)晶圓條件和采樣化學(xué)品類(lèi)型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。
●當(dāng)然，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
三、SC-9100
●具有即使是親水狀態(tài)的晶圓也能捕集污染物的功能，可對(duì)硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓進(jìn)行取樣。
●放寬了對(duì)晶圓條件和采樣化學(xué)品類(lèi)型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。
●當(dāng)然，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架，因此與SC-8100相比，可以減少工人造成的污染。
