聯(lián)系電話
深圳九州工業(yè)品有限公司
中級(jí)會(huì)員·3年
- 聯(lián)系人：
- 魚蛋小姐
- 電話：
- 手機(jī)：
- 15766191432
- 地址：
- 和健云谷
- 個(gè)性化：
- www.jiuzhougyp.com
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VPD BOX特點(diǎn)
●該設(shè)備利用氫氟酸自然汽化，在氣相狀態(tài)下分解硅片上的氧化膜和氮化膜，使硅片表面疏水化。
●與酸性液體、酸性氣氛接觸的部件采用PTFE、PVDF。
●請與半自動(dòng)收集裝置SC系列配合使用。
規(guī)格參數(shù)
| 裝置名 | VPDBOX-200-1M | VPDBOX-300-1M |
| 最大處理張數(shù) | 1 件 | 1 件 |
| 外形(W×D×H)(mm)(※1) | 290×290×250 | 390×390×250 |
| 重量 | 6公斤 | 8公斤 |
| 使用場所 | 干凈的草案里面 | 干凈的草案里面 |
| 外部資源 | N2氣（用于酸性氣氛吹掃） | N2氣（用于酸性氣氛吹掃） |
