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KOFLOC 數(shù)字質(zhì)量流量控制器 DF-200

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KOFLOCDF-200質(zhì)量流量控制器DF-200系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，可在1秒（全范圍）內(nèi)實(shí)現(xiàn)1％SP的精度和響應(yīng)

詳細(xì)介紹

KOFLOC DF-200 質(zhì)量流量控制器

DF-200系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，可在1秒（全范圍）內(nèi)實(shí)現(xiàn)±1％SP的精度和響應(yīng)。此外，它兼容多氣體和多量程，可輕松更換包括參考?xì)怏w在內(nèi)的7種氣體及其流量范圍，使其成為具有出色通用性的產(chǎn)品。

傳感器方式   熱繞組傳感器
閥門(mén)方式   比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉）
目標(biāo)氣體（* 1）   多氣體：
N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2）
流量范圍（* 3）   10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2）
控制范圍   2至100％（F.S.）
反應(yīng)能力（* 4）   總流量控制范圍在1秒內(nèi)（±2％F.S.）
L：50kPa~149kPa　H:150kPa~300kPa
精度（* 5）   ±1.0％SP（> 35％F。S.），
±0.35％F。S.（≦35％F。S.）
再現(xiàn)性   ±0.25％FS
工作壓差（* 6）   50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa）
入口壓力   500kPa（G）
耐壓   980kPa（G）
He泄漏率（* 7）   1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
溫度   允許周?chē)鷾囟?nbsp; 5～50℃
精度保證溫度   15～35℃
允許儲(chǔ)存溫度   -10～60℃
允許環(huán)境濕度   10～90%RH （無(wú)結(jié)露）
氣體接觸材料   SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM
電氣連接   D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)），RJ-45模塊化插孔x 2
流量設(shè)定信號(hào)   0至5 VDC（輸入阻抗約1MΩ）
流量輸出信號(hào)   0至5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ或更高）
數(shù)字通信   使用RS485旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)設(shè)置地址：最多99（9600 bps）
所需電源（DC）   +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接頭（* 8）   1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4
安裝姿勢(shì)   推薦水平方向
重量（* 9）   約850g