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富泰微科學(xué)儀器（上海）有限公司
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| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
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所 在 地
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更新時(shí)間：2023-07-06 19:03:24瀏覽次數(shù)：199次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線產(chǎn)品介紹 采用磁控型電極，限度地減輕對(duì)樣品的損壞。
產(chǎn)品介紹：
采用磁控型電極，限度地減輕對(duì)樣品的損壞。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、采用LCD觸摸屏，可以更加簡(jiǎn)便地設(shè)定加工條件
2、可處理較厚或較大的樣品(選配件)
3、記憶功能可存儲(chǔ)常用加工條件
產(chǎn)品規(guī)格：
| 項(xiàng)目 | 說(shuō)明 | |
| 放電 | 類(lèi)型 | 磁控二極管放電型(電場(chǎng)垂直于磁場(chǎng)) |
| 電極組成 | 反向平行盤(pán)(嵌入磁鐵) | |
| 電壓 | 0.4 kV DC(直流可變) | |
| 電流 | 40 mA DC | |
| 噴鍍速率 *1() [條件] 壓力：7 Pa 放電電流：40 mA 標(biāo)靶與樣品表面之間的距離：20 mm | Pt 靶(選配件) | 15 nm/min |
| Pt-Pd 靶(選配件) | 20 nm/min | |
| Au 靶(選配件) | 35 nm/min | |
| Au-Pd 靶(選配件) | 25 nm/min | |
| 樣品尺寸 | 直徑 | φ60 mm |
| 高度 | 20 mm | |
| 機(jī)械泵 | 135/162 l/min (50/60Hz) | |
| 靶材*2 | Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4) | |
| 電源要求 | 單相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-針插頭線纜(3 m) | |
| 尺寸 | 寬度 | 450 mm |
| 長(zhǎng)度 | 391 mm | |
| 高度 | 390 mm | |
| 重量 | 主機(jī)：約 22 kg 機(jī)械泵：約 30 kg | |
*1： 噴鍍速率僅供參考
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