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刻蝕設(shè)備: 離子束刻蝕反應(yīng)離子刻蝕感應(yīng)耦合等離子刻蝕

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感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP）
感應(yīng)耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)利用射頻天線，通過感應(yīng)耦合方式在放電腔中產(chǎn)生高密度等離子體，同時刻蝕工作臺引入射頻偏壓，射頻偏壓作用下，等離子體中垂直向下對被刻蝕材料表...

型號： DISC-ICP-... 所在地：北京市參考價： ￥10更新時間：2025/5/16 16:08:28 對比

感應(yīng)耦合等離子刻蝕等離子刻蝕ICP臺式
德國SENTECH ICP-RIE等離子刻蝕機(jī)
SENTECH感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī)SI 500是一款由SENTECH（德國）公司研發(fā)并生產(chǎn)的電感耦合等離子體（ICP）干法刻蝕系統(tǒng)。該產(chǎn)品以其高精度、低損傷、高...

型號： SI 500 所在地：北京市參考價： ￥10更新時間：2025/5/16 8:03:44 對比

感應(yīng)耦合等離子刻蝕刻蝕設(shè)備

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