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當(dāng)前位置：北京中科復(fù)華科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>鍍膜設(shè)備>>磁控濺射
磁控濺射法是在高真空充入適量的氬氣，在陰極（柱狀靶或平面靶）和陽(yáng)極（鍍膜室壁） 之間施加幾百K 直流電壓，在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控型異常輝光放電，使氬氣發(fā)生電離。
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