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當(dāng)前位置：北京中科復(fù)華科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>深紫外光刻機(jī)>>高分辨深紫外光刻機(jī)
PHABLE設(shè)備基于Eulitha采用的位移塔爾博特光刻(DTL)技術(shù)，通過(guò)低成本的光刻系統(tǒng)提供高分辨率光刻。DTL克服了傳統(tǒng)光刻中衍射的局限性，可曝光出質(zhì)量?jī)?yōu)...
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