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行業(yè)產(chǎn)品

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北京中科復(fù)華科技有限公司


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熱阻/電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)設(shè)備

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參  考  價(jià):10 - 280 /臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào)

    MEB-600/800

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商

  • 所在地

    北京市

聯(lián)系方式:陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2024-04-09 10:05:51瀏覽次數(shù):414次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:12條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:陳經(jīng)理 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn)    

電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜??烧舭l(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī),臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性價(jià)比,非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用

詳細(xì)介紹

應(yīng)用方向:科研與教學(xué)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):多功能,電子槍+熱阻蒸發(fā),膜厚監(jiān)控

產(chǎn)品配置:

樣片數(shù)量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)

蒸發(fā)材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。

蒸發(fā)腔體:高真空系統(tǒng)。

蒸發(fā)不均勻性:≤±3%-±5%

工件架:可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)

加熱:常規(guī)加熱

電子槍:E型,帶XY偏轉(zhuǎn)掃描

電子槍坩堝:6穴,17cc

膜厚監(jiān)控功能:石英晶控膜厚在線監(jiān)測(cè)與終點(diǎn)控制

清洗功能:可選配離子源清洗

器件一次成型復(fù)合實(shí)驗(yàn)系統(tǒng):通過(guò)復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),一次完成器件的多個(gè)工藝步驟

檢測(cè)與控制光學(xué)特性功能:可選配光控儀

操作模式:全自動(dòng)+半自動(dòng)控制

類似產(chǎn)品: 大樣片蒸發(fā)鍍膜(MEB-800)



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