電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜。可蒸發(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)，臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性價(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用

詳細(xì)介紹

應(yīng)用方向：科研與教學(xué)

產(chǎn)品優(yōu)勢：多功能，電子槍+熱阻蒸發(fā)，膜厚監(jiān)控

產(chǎn)品配置：

★樣片數(shù)量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）

★蒸發(fā)材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。

★蒸發(fā)腔體：高真空系統(tǒng)。

★蒸發(fā)不均勻性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)

★加熱：常規(guī)加熱

★電子槍：E型，帶XY偏轉(zhuǎn)掃描

★電子槍坩堝：6穴，17cc

★膜厚監(jiān)控功能：石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點(diǎn)控制

★清洗功能：可選配離子源清洗

★器件一次成型復(fù)合實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)：通過復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，一次完成器件的多個(gè)工藝步驟

★檢測與控制光學(xué)特性功能：可選配光控儀

★操作模式：全自動(dòng)+半自動(dòng)控制

類似產(chǎn)品： 大樣片蒸發(fā)鍍膜（MEB-800）

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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熱阻/電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)設(shè)備

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