硅片無氧烘箱，半導(dǎo)體厭氧烤箱? 概述

硅片無氧烘箱，半導(dǎo)體厭氧烤箱，在工作時(shí)，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……

技術(shù)參數(shù)

主要技術(shù)指標(biāo)

Ø  含氧量：< 100ppm;

Ø  溫度范圍： RT（室溫）+10～ +200℃；

Ø  溫度均勻度：±1℃;

Ø  溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）

Ø  溫控精度：0.1℃

箱體結(jié)構(gòu)

烘箱擱板為活動(dòng)形式。

Ø  溫控裝置：智能LED雙數(shù)顯高精度溫度控制系統(tǒng)，控溫精度±1℃，溫度為室溫至300℃任意調(diào)節(jié)，并具有PID自整定，自動(dòng)恒溫等功能

Ø  超溫保護(hù):獨(dú)立配置超溫保護(hù)儀，超過溫度上限，自動(dòng)報(bào)警并主動(dòng)切斷加熱

Ø  固態(tài)輸出：SSR無觸點(diǎn)繼電器模塊，靈敏度高，壽命長(zhǎng)

Ø  測(cè)溫裝置：不銹鋼鎧甲PT100傳感器、K分度熱電偶傳感器，精確測(cè)溫，放心使用

Ø  定時(shí)裝置：高精度數(shù)顯自動(dòng)定時(shí)器，0-99.99小時(shí)恒溫時(shí)間設(shè)定，可預(yù)設(shè)烘烤時(shí)間

Ø  報(bào)警系統(tǒng)：APT/AD16型聲光報(bào)警系統(tǒng)，時(shí)間到聲光報(bào)警并自動(dòng)切斷加熱

Ø  電器元件：采用電器

Ø  安全裝置：漏電，短路，過載保護(hù)；鼓風(fēng)電機(jī)過載缺相保護(hù)