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秋山科技(東莞)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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krosaki半導(dǎo)體制造設(shè)備用光學(xué)鏡NEXCERA®

時(shí)間:2025/1/3閱讀:383
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krosaki半導(dǎo)體制造設(shè)備用光學(xué)鏡NEXCERA®

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NEXCERA ®是一種熱膨脹系數(shù)與低熱膨脹玻璃相當(dāng)且剛性高的材料。
主要用作半導(dǎo)體制造設(shè)備、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、望遠(yuǎn)鏡等的反射鏡。

特征

  • ●熱膨脹系數(shù)與低膨脹玻璃相當(dāng)

  • ●可實(shí)現(xiàn)精密鏡面加工

  • ●高的穩(wěn)定性(熱/時(shí)間)

  • ●重量輕、剛性高

  • ●自擴(kuò)散接合無需接合劑即可接合


  1. 薄筋結(jié)構(gòu)
    (筋厚度:3mm)

  2. 蓋板粘合(自擴(kuò)散粘合)+精密鏡面加工


  3. 箱體結(jié)構(gòu)(鏡面)
    Φ340×70mm


  4. 平坦度 36nm < λ/10


  5. 表面粗糙度:Ra 0.36nm,PV 32nm

鍵合技術(shù) 自擴(kuò)散鍵合

  • ?陶瓷直接接觸并加壓加熱,使構(gòu)成元素?cái)U(kuò)散而接合的方法。

  • ?無需使用粘接劑即可接合。


  1. 薄筋結(jié)構(gòu)
    (筋厚度:3mm)

  2. 蓋子接頭


  3. 箱體結(jié)構(gòu)(鏡面)
    Φ340×70mm

  4. 聯(lián)合剖面照片

NEXCERA®熱穩(wěn)定性

  • ●熱循環(huán)
    (RT?-20℃(11h)?+60℃(11h)?RT)×4次


  • NEXCERA® ( N117B)鏡面/薄肋接合結(jié)構(gòu) 示例


樣品尺寸: φ340mm


  1. <熱循環(huán)前> 平面度:0.058μm


  2. <熱循環(huán)后>平面度:0.060μm

溫度循環(huán)前后的平整度變化在設(shè)備誤差范圍內(nèi)
, 形狀輪廓幾乎保持不變。

 熱循環(huán)引起的滯后非常小。

NEXCERA ®超低熱膨脹陶瓷

NEXCERA ®是一種基于堇青石(2MgO-2Al 2 O 3 -5SiO 2 )陶瓷的超低熱膨脹陶瓷。它在室溫附近表現(xiàn)出零膨脹,是一種比低熱膨脹玻璃具有更高強(qiáng)度和剛性的材料??梢詣?chuàng)建以前不可能的復(fù)雜形狀。

特征

  • 零熱膨脹

  • 它在室溫附近幾乎為零膨脹。

  • 高老化穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性

  • 隨著時(shí)間的推移,尺寸變化極小,并且熱膨脹系數(shù)和尺寸相對(duì)于溫度變化的再現(xiàn)性非常好。

  • 重量輕、剛性高

  • 與一般低熱膨脹玻璃相比,其剛性約為1.5倍。

  • 可實(shí)現(xiàn)精密鏡面加工

  • 由于它是無孔材料,因此可以通過研磨或拋光將其加工成鏡面。

  • 近終形燒成技術(shù)

  • 通過預(yù)燒制處理可以實(shí)現(xiàn)近凈燒制,從而可以以低成本制造復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。

熱膨脹行為

熱膨脹行為圖

單擊此處查看 NEXCERA ®應(yīng)用產(chǎn)品頁面

  • 測(cè)量?jī)x器參考裝置概述

  • 光學(xué)鏡概述

各材料物性表

產(chǎn)品編號(hào)
N113BN117BN118CN119CCD107
顏色
黑色的黑色的藍(lán)灰色淺藍(lán)
灰色
藍(lán)灰色
堆積密度克/立方厘米2.52.552.582.52.57
彎曲強(qiáng)度兆帕210230220166230
楊氏模量GPa130140140130143
比剛度GPa/(克/立方厘米)5255545255
斷裂韌性值兆帕·米1/21.21.21.41.31.4
硬度GPa8.08.18.18.0-
熱膨脹系數(shù)X10 -6 /℃ 23℃< 0.03< 0.03< 0.05< 0.05< 0.03
(22℃時(shí)測(cè)定)
導(dǎo)熱系數(shù)瓦/米克3.74.24.54.34.7
相對(duì)介電常數(shù)(1兆赫)4.76.04.74.44.6

*所列數(shù)據(jù)為典型值,并非保證值。


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