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半導(dǎo)體制造中為什么需要檢測露點?

時間:2025/1/10閱讀:309
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半導(dǎo)體制造中為什么需要檢測露點?


水可能是所有生命的基礎(chǔ),但當(dāng)涉及到半導(dǎo)體制造等專業(yè)過程時,它通常是過程中不想要的化合物之一。

  水蒸氣的存在不僅在技術(shù)方面,而且對商業(yè)成果都有非常重要的影響。即使是很少量的水蒸氣也會在晶片表面帶入雜質(zhì)或?qū)е卵趸瑥亩鴷Π雽?dǎo)體器件的電特性產(chǎn)生不利影響。

  這可能導(dǎo)致生產(chǎn)效率降低、生產(chǎn)成本增加和制造時間延長,直接影響盈利能力和市場競爭力。

  在光刻、沉積和蝕刻等關(guān)鍵工藝過程中,對濕度和水蒸氣的精確控制對于保持半導(dǎo)體層的結(jié)構(gòu)完整性和實現(xiàn)所需的產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。水蒸氣的有效管理不僅對于維護半導(dǎo)體器件所需的高性能標(biāo)準(zhǔn)和可靠性至關(guān)重要,而且對于確保高效的生產(chǎn)工藝、有力地減少浪費和保持強大的市場競爭地位也至關(guān)重要。

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TEKHNE公司是一家擁有40年露點測量的日本制 造商,生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。  測量方便,帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測量,你所需要的是100~240VAC電源和樣氣接 口。此外,你也可以選擇TK-100露點傳感器,單獨使 用4~20mA信號輸出供電18~28VDC。

特征

簡 便  

TEKHNE公司是一家擁有40年露點測量的日本制 造商,生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。  測量方便,帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測量,你所需要的是100~240VAC電源和樣氣接 口。此外,你也可以選擇TK-100露點傳感器,單獨使 用4~20mA信號輸出供電18~28VDC。

高 品 質(zhì)  

TEKHNE的氧化鋁陶瓷傳感器能保證最佳精度, 快速響應(yīng)以及長期穩(wěn)定性。大多數(shù)先進的傳感器技術(shù) 均應(yīng)用于此。  此外,先進的微處理器技術(shù)實現(xiàn)全溫度補償,將 處理溫度到露點測量值的影響最小化。通過TK-100傳 感器把-80~+20℃露點輸出轉(zhuǎn)換為穩(wěn)定的和線性的 4~20mA輸出。

靈 活 性 

 TEKHNE的TK-100系列用于空氣或惰性氣體的露 點測量。把傳感器通過選件取樣座由5/8" UNF或1/8"  NPT接入到你的處理線上。1/8 DIN顯示屏可在距離傳 感器1000米遠處設(shè)置。  處理線的流量必須設(shè)定為1~10NL/分(帶選件取 樣座)或0.5~10m/秒(不帶選件取樣座)溫度范圍 -20~+60℃,壓力可達30MPa。建議安裝過濾器濾去 灰塵。


主要用途

  • 手套箱內(nèi)的露點控制

  • 干燥機露點檢查

  • 熱處理爐內(nèi)氣氛控制

  • 潔凈室和干燥室的露點管理

  • 氣體純度控制

  • 天然氣水分管理

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備

  • 有機EL制造


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