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日本kakenjse手動曝光機MA-1200A適用范圍
MA-1200,MA-1400
MA-1200A
手動批量曝光機非常適合于高混合,小批量生產(chǎn),實驗和研究,并且可以進行穩(wěn)定的自動間隙控制。
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| MA-1400 | ||
板子尺寸 | z大200 x | 高達400 x 400mm | |
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | 超高壓汞燈:2kW或3.5kW | |
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 |
| 體重 | 400公斤 | 400kg(包括干凈的圍欄) |
| 光源重量 | -- | 250公斤 |
選項 | 支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對準,硬接觸(真空接觸類型),自動對準,破裂的基板(需要咨詢) |
我們接受有關(guān)板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和特殊規(guī)格的咨詢。
| MA-1200A | |
晶圓尺寸 | ø2“?ø6” | |
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | |
尺寸和重量 | 車身尺寸 | W850 x D1150 x H1665毫米 |
重量 | 400公斤 | |
選項 | 背面對齊,自動對齊,開裂的板,條形碼讀取器和LOG存儲支持(需要咨詢) |
*我們接受有關(guān)特殊規(guī)格的咨詢,例如板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和UV-LED安裝。
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