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當(dāng)前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>測試與輔助工藝設(shè)備>> EVG SmartView NT對準(zhǔn)系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG SmartView NT是一款全自動量產(chǎn)型鍵合對準(zhǔn)設(shè)備，適用于三維互連、晶圓級封裝、高產(chǎn)量MEMS，可以作為模塊集成在EVG560鍵合設(shè)備或者GEMINI平臺。
主要特點及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持2層或3層晶圓堆疊對準(zhǔn)
·支持：面對面對準(zhǔn)、背面對準(zhǔn)、紅外對準(zhǔn)和透明對準(zhǔn)
·可升級至自動對準(zhǔn)
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