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更新時(shí)間：2024-04-27 07:07:51瀏覽次數(shù)：130次
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EVG 6200BA是一款自動(dòng)量產(chǎn)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，擁有全自動(dòng)高分辨率底部攝像頭，適合于EVG501、EVG510、EVG520鍵合機(jī)的鍵合對(duì)準(zhǔn)。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·支持2層或3層晶圓堆疊對(duì)準(zhǔn)
·對(duì)準(zhǔn)精度：
底部對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm 3σ
透明對(duì)準(zhǔn)精度≤±1μm 3σ
·可選配紅外對(duì)準(zhǔn)
·可升級(jí)至自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
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EVG 620BA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
EVG 620BA是一款半自動(dòng)研發(fā)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，擁 |
EVG 6200BA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
EVG 6200BA是一款自動(dòng)量產(chǎn)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，擁請(qǐng)輸入賬號(hào)
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