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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市中圖儀器股份有限公司


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3D表面輪廓儀 中圖SuperView光學(xué)輪廓測量儀中圖儀器SuperviewW1

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更新時間：2023-01-08 11:55:05瀏覽次數(shù)：434次

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產(chǎn)品簡介

中圖儀器3D表面輪廓儀由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成

詳細(xì)介紹

中圖儀器3D表面輪廓儀由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。其中信號處理系統(tǒng)作為儀器核心部分，由計算機(jī)和數(shù)字信號協(xié)處理器構(gòu)成。利用計算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù)，然后使用專用的數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。重建算法能自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。
 

性能特點

1、輪廓/粗糙度測量功能：
高到亞納米級的高度分辨率，在寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能以及表征表面整體加工質(zhì)量的粗糙度等指標(biāo)；
2、自動化測量功能：
自動單區(qū)域測量/自動多區(qū)域測量/自動拼接測量；
3、復(fù)合型掃描算法：
集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點的EPSI掃描算法，有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品，無須切換，操作便捷；
4、雙重防撞保護(hù)功能：
Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能，雙重保護(hù)，多一重安心；
5、環(huán)境噪聲檢測功能：
環(huán)境噪聲評價功能能夠定量檢測儀器當(dāng)前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值，對儀器的調(diào)試、測試可靠性提供指導(dǎo)；
6、完善的售后服務(wù)體系：
設(shè)備故障遠(yuǎn)程&現(xiàn)場解決，軟件免費升級。

中圖儀器3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率非接觸測量樣品表面形貌，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。
 


在芯片封裝測試流程中，中圖儀器3D表面輪廓儀可以測量晶圓減薄和晶圓切割工藝需要測量的晶圓膜厚、粗糙度、平整度（翹曲），晶圓切割槽深、槽寬、崩邊形貌等參數(shù)。
 


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