應用方向：科研與教學

產(chǎn)品優(yōu)勢：刻蝕速率控制方便，耐氯基強腐蝕氣體，帶雙片送取樣室（Load-Lock）

產(chǎn)品配置：

★樣片數(shù)量及尺寸：1片Ф6英寸

★刻蝕材料：包括并不限于單晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、聚合物等

★刻蝕腔體：高真空系統(tǒng)

★Load-Lock：低真空系統(tǒng) 或 高真空系統(tǒng)。雙片裝，樣品自動運送。

★刻蝕不均勻性：±3%-±6%

★刻蝕速率：0.1-4μm/min（視具體材料與工藝）

★工作臺：可升降，包含水冷

★電源配置：下電偏壓，包含自動匹配

★氣路數(shù)量與種類：6路氣路，其中2路耐腐蝕VCR焊接 或 用戶選配

★He冷背吹系統(tǒng)：可選配

★終點檢測控制：可選配質(zhì)譜儀

★操作模式：全自動+半自動控制