Increase your productivity with our powerfully versatile atomic force microscope Park XE15具有眾多的功能，是處理多種樣品的共享實(shí)驗(yàn)室、進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)的研究院以及晶片故障分析工程師的

詳細(xì)介紹

Increase your productivity with our powerfully versatile atomic force microscope

Park XE15具有眾多的功能，是處理多種樣品的共享實(shí)驗(yàn)室、進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)的研究院以及晶片故障分析工程師的。同時(shí)，合理的價(jià)格和穩(wěn)健的功能使之成為業(yè)內(nèi)最的大型樣品原子力顯微鏡之一。

Unique MultiSample™ scan boosts research productivity

Park XE15能夠一次性掃描和測(cè)量多個(gè)樣品，讓您的效率一高再高。您只需要將樣品放入工作臺(tái)，再啟動(dòng)掃描程序便可。該功能也可以讓您在相同的環(huán)境條件下掃描樣品，從而提高數(shù)據(jù)的精確性和穩(wěn)定性。

Large sample size increases possibilities

與大多數(shù)的原子力顯微鏡不同，Park XE15可掃描尺寸為200 mm x 200 mm的樣品。這樣既滿足了研究員對(duì)掃描大樣品的需求，也讓故障分析工程師能夠掃描硅片。

Features adaptable to any need

Park XE15配有絕大多數(shù)的掃描模式，可掃描各種尺寸的樣品。得益于此，Park XE15是共用實(shí)驗(yàn)室的配置，能夠滿足每個(gè)人的需求。

The most convenient sample measurements with MultiSample™ scan

Park XE15 MultiSample™ scan system

一次性自動(dòng)多樣品成像
特別設(shè)計(jì)的多樣品卡盤，可裝載多達(dá)16個(gè)樣品
全機(jī)動(dòng)XY軸樣品臺(tái)，行程范圍達(dá)150 mm x 150 mm

借助電動(dòng)樣品臺(tái)，MultiSample™掃描模式能夠允許用戶自行編程，借助自動(dòng)化步進(jìn)掃描，實(shí)現(xiàn)多區(qū)域成像。

流程如下：
1.記錄用戶定義的多個(gè)掃描位置
2.在個(gè)掃描位置成像
3.提升懸臂
4.將電動(dòng)樣品臺(tái)移至下一個(gè)用戶定義坐標(biāo)
5.探針接近
6.重復(fù)掃描

記錄多個(gè)掃描位置十分簡(jiǎn)單，您可以輸入樣品-樣品臺(tái)坐標(biāo)或使用兩個(gè)參考點(diǎn)校正樣品位置。該自動(dòng)化功能大大減少您在掃描過程中需要的工作，極大提高了生產(chǎn)力。

Accurate XY Scan by Crosstalk Elimination

Park Systems的串?dāng)_消除(XE)掃描系統(tǒng)能夠有效解決上述問題。我們使用了二維柔性平臺(tái)專門掃描樣品的XY軸位置，并通過壓電疊堆傳動(dòng)裝置專門掃描探針懸臂的Z軸位置。用于XY軸掃描的柔性平臺(tái)采用了固體鋁材，其具有超高的正交性和出色的平面外運(yùn)動(dòng)軌跡。柔性平臺(tái)可在XY軸掃描大型樣品（1 kg左右），頻率達(dá)100 Hz左右。由于XY軸的帶寬要求遠(yuǎn)低于Z軸的帶寬要求，因此該掃描速度已然足夠。用于Z軸掃描的壓電疊堆傳動(dòng)裝置具有大的推拉力和高共振頻率（約10 kHz）。

XE scan system

適用于樣品和探針的獨(dú)立XY軸和Z軸柔性掃描器

XY flexure scanner

平直正交的XY軸掃描，殘余彎曲低

XE-Peformence

圖9. (a)表示 Park Systems XE系統(tǒng)的背景曲率為零，(b)是傳統(tǒng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)的管式掃描器的典型背景曲率, (c)展示了這些背景曲率的橫截面。

圖9展示了XE系統(tǒng)(a)和傳統(tǒng)原子力顯微鏡(b)掃描硅片時(shí)，未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級(jí)光滑材料，因此圖像中的彎曲大多數(shù)是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率，因此當(dāng)X軸的位置移動(dòng)15 μm時(shí)，平面外移動(dòng)可達(dá)80 nm。而在相同的掃描范圍內(nèi)，XE掃描系統(tǒng)的平面外移動(dòng)則不超過1 nm。XE掃描系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢(shì)是Z軸伺服回應(yīng)。圖10是XE掃描系統(tǒng)在無接觸模式下拍下的一個(gè)多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像，其直徑大約為5 µm。由于XE掃描系統(tǒng)的Z軸伺服回應(yīng)極其精準(zhǔn)，探針可以精確地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結(jié)構(gòu)移動(dòng)，而不會(huì)壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應(yīng)在平坦背景上高性能的表現(xiàn)。

Figure 10. Figure 11.

Better tip life, sample preservation, and accuracy with True Non-Contact™ Mode

在True Non-Contact™模式中，探針與樣品的距離在相互原子力的控制下，被成功地控制在幾納米之間。探針振動(dòng)幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護(hù)了探針和樣品。

True Non-Contact™ Mode

探針磨損更低=高分辨率掃描更長(zhǎng)久
無損式探針-樣品接觸=樣品變化程度最小
避免參數(shù)依賴

Tapping Imaging

探針磨損更快=掃描圖像模糊
破壞性探針-樣品接觸=樣品受損變化
高參數(shù)依賴性

Longer Tip Life and Less Sample Damage

原子力顯微鏡探針的十分脆弱，這使得它在接觸樣品后會(huì)快速變鈍，從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質(zhì)量。對(duì)于材質(zhì)較軟的樣品，探針會(huì)破壞樣品，導(dǎo)致其高度測(cè)量不準(zhǔn)確。相應(yīng)地，探針保持完整性意味著顯微鏡可以持續(xù)提供高分辨率的精確數(shù)據(jù)。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠極大程度保護(hù)探針，從而延長(zhǎng)其壽命，并減少對(duì)于樣品的破壞。下圖中以1:1的長(zhǎng)寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像，該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定。在成像20次之后，探針幾乎有沒任何磨損。 xe-afm

The Most Extensible AFM Solution

Supports Park’s most extensive range of SPM modes and options in the industry

現(xiàn)如今，研究院需要描述不同測(cè)量條件和樣品條件下的各類物理性質(zhì)。Park Systems帶來業(yè)內(nèi)最多的掃描探針顯微鏡模式、最多的原子力顯微鏡選擇和的兼容性和升級(jí)性，讓樣品的表征掃描變得簡(jiǎn)單。
graphene-topography-spm-modes

Park XE15 has the most Extensive range of SPM modes

Surface Roughness Measurement

True Non-Contact Mode
Dynamic Force Mode

Mechanical Characterization

Force Modulation Microscopy (FMM)
Force-Distance (FD) Spectroscopy
Force Volume Imaging
Lateral Force Microscopy (LFM)
Nanoindentation
Nanolithography
Phase Imaging

Electrical Characterization

Conductive AFM (ULCA and VECA)
Electrostatic Force Microscopy (EFM)
Piezoelectric Force Microscopy (PFM)
Scanning Capacitance Microscopy (SCM)
Scanning Kelvin Probe Microscopy (SKPM)
Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM)
Scanning Tunneling Microscopy (STM)
Time-Resolved Photo Current Mapping (PCM)

Thermal Characterization

Scanning Thermal Microscopy (SThM)

Magnetic Characterization

Magnetic Force Microscopy (MFM)

關(guān)鍵詞：顯微鏡工作臺(tái) 掃描電子顯微鏡

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Park XE15

上海明古嘉電子科技有限公司

Increase your productivity with our powerfully versatile atomic force microscope

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