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上海明古嘉電子科技有限公司


Park NX20

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-11-06 10:03:11瀏覽次數:30次

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產品簡介

用于故障分析和大型樣品研究的納米計量工具 作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器,其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX2

詳細介紹

用于故障分析和大型樣品研究的納米計量工具

作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器,其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX20,這款精密的大型樣品原子力顯微鏡,憑借著出色的數據準確性,在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。

大全面的分析功能

Park NX20具備無二的功能,可快速幫助客戶找到產品失效的原因,并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。的精密度為您帶來高分辨率數據,讓您能夠更加專注于工作。與此同時,真正非接觸掃描模式讓探針更鋒利、更耐用,無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。。

即便是次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作

ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設計和自動界面,讓你在使用時無需花費大量的時間和精力,也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點,您可以更加專注于解決更為重大的問題,并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。

為FA和研究實驗室提供精確的形貌測量解決方案

樣品側壁三維結構測量

NX20的創(chuàng)新架構讓您可以檢測樣品的側壁和表面,并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所的。


對樣品和基片進行表面光潔度測量

表面光潔度測量是Park NX20的關鍵應用之一,能夠帶來精確的失效分析和質量保證。
 
 

高分辨率電子掃描模式

 

QuickStep SCM
的掃描式電容顯微鏡

PinPoint AFM
無摩擦導電原子力顯微鏡

多種的技術幫助顧客減少測試時間

 CrN樣品所做的針尖磨損實驗

  • 通過對比重復掃描情況下探針的形狀變化,您可以輕易看到Park的真正非接觸模式的優(yōu)勢所在。

 

AFM測量

  • 借助真正非接觸模式,探針在掃描氮化鉻樣品(即探針檢測樣品)200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。氮化鉻的表面粗糙且研磨性強,會讓普通的探針很快變鈍。
 

低噪聲Z探測器測量準確的樣品表面形貌

沒有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌

超低噪聲Z探測器,噪音水平低于0.02 nm,從而達到非常精準樣品形貌成像,沒有邊沿過沖無需校準。Park NX20在為您提供好的數據的同時也為您節(jié)省了寶貴的時間。

 

  • 使用低噪聲Z探測器信號進行臺階形貌測量。
  • 在大范圍掃描過程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm。
  • 沒有前沿或后沿過沖現象
  • 終身無需校準,減少設備維護成本

 

Park NX系列原子力顯微鏡

no-creep-effect

 

傳統(tǒng)的原子力顯微鏡

creep-effect
 
 

Park NX20特點

 
低噪聲XYZ位置傳感器
自動多點樣品掃描
掃描頭滑動嵌入式設計
用于高級掃描模式易插拔擴展槽
高速24位數字電子控制器
高速Z軸掃描器,掃描范圍達15 µm 
集成編碼器的XY自動樣品載臺
操作方便的樣品臺
同軸高功率光學集成LED照明和CCD系統(tǒng)。
自動Z軸移動和聚焦系統(tǒng)
 
 

關鍵詞:顯微鏡 傳感器
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